Contrôleur de débit massique (MFC) MKS GM50A à commande numérique, plage de 10 à 500 sccm, subminiature D à 15 broches, 4 magnétoscopes mâles.
Numéro de pièce MKS : GM50A013502RMM020. Le contrôleur de débit massique MKS GM50A peut être configuré pour contrôler une large gamme de gaz sources à livraison sûre (SDS). Les raccords d'entrée et de sortie sont Swagelok® 4 VCR®. Il dispose d'une plage de débit à pleine échelle de 500 sccm et d'une plage de contrôle de 10 à 500 sccm, d'un connecteur sub-D miniature à 15 broches avec masse liée et d'un signal d'entrée/sortie de débit de 0 à 5 V CC. L'étalonnage numérique donne 1 % de précision du point de consigne sur le gaz d'étalonnage. Les temps de réponse typiques sont de l'ordre de 500 millisecondes.
Les capacités multi-gamme peuvent être configurées via une application basée sur un navigateur Web accessible en branchant le MFC sur un routeur ou un ordinateur via un câble Ethernet. L'application E-diagnostics permet à un utilisateur de surveiller les performances du MFC en temps réel ainsi que de tracer des données et de sélectionner des variables.
Swagelok, VCR-TM Société Swagelok